Halbleitermarkt Unsere Recycling-Anlagen bieten ideale Lösungen für:

Schneid- und Schleifprozess

Industrie

Chemisch-mechanisches Planarisieren

Planarisieren

Besonders in der Halbleiterindustrie sind umfangreiche Polierprozesse unabdingbar. Das benötigte Slurry-Wasser-Gemisch ist nach dem CMP-Prozess bisher ein reines Abfallprodukt und muss einer aufwändigen Abwasseraufbereitung, Neutralisation und Entsorgung zugeführt werden. Neben erheblichen Kosteneinsparpotentialen trägt das Recycling des Slurrys dazu bei, die Prozessqualität deutlich zu optimieren.

Die Vorteile auf einen Blick:

Prozesssicherheit

Durch die Wiederverwendung rückgewonnener Rohstoffe werden die hohen Qualitätsstandards im Prozess in jedem Fall beibehalten und häufig sogar deutlich verbessert.

Das Auftreten von Microscratches kann um bis zu 35 % reduziert werden. So kann das Slurry-Recycling auch zur Erhöhung des Yields in der Produktion beitragen.

Es treten keine Sedimentationserscheinungen auf, da das aufbereitete Slurry unter ständiger Bewegung dem Produktionsprozess zugeführt wird.

Kostenersparnis

Durch die Wiederverwendung chemischer Rohstoffe und Reinstwasser ergeben sich deutliche Einsparungen im Produktionsprozess.

  • Erheblich niedrigere Beschaffungskosten für Slurrys
  • Wegfall hoher Lager- und Transportkosten
  • Einsparungen bei der Reinstwasseraufbereitung
  • Reduzierung der Abwasserkosten

Unabhängigkeit

Hochwertige chemische Rohstoffe sind teuer und selten. Aufgrund einer Recyclingrate von bis zu 85 % bedeutet das: Nur 15 % des Materials muss neu hinzugefügt werden. Dadurch reduziert sich der Bedarf erheblich!

Das wiederverwendete Slurry weist gegenüber frischem keine Qualitätseinbußen auf.

Umwelt & Gesundheit

Der Einsatz der patentierten Recycling-Anlagen leistet einen wichtigen Beitrag zum Schutz der Umwelt und der Gesundheit.

Gesundheitsschädliche Nano-Partikel werden aus dem Abwasser herausgefiltert und sorgen für eine deutlich bessere Wasserqualität.

Durch den reduzierten Verbrauch wertvoller und nicht erneuerbarer Rohstoffe werden wichtige Ressourcen eingespart.

Schneid- und Schleifprozess

Beim Schneid- und Schleifprozess in der Halbleiterherstellung werden, unter der Zugabe von Reinstwasser, Nanopartikel aus seltenen Erden sowie andere Rohstoffe abgetragen. Durch den Einsatz unserer patentierten Recycling-Anlagen können diese wertvollen Komponenten wieder dem Produktionsprozess zugeführt oder wiederverwendet werden.

Die Vorteile auf einen Blick:

Versorgungssicherheit

Die Auslastung bestehender Reinstwasseranlagen wird reduziert und können redundant in das Recyclingkonzept mit einfließen.

Das aus der Ultrafiltration zurückgewonnene befreite Fluid, auch Permeat genannt, wird über Ionenaustauscher gefiltert und dem Kunden wieder zur Verfügung gestellt.

Individuelle und erweiterbare Ausbaustufen der Aufbereitung können je nach Prozessvorgaben angepasst und realisiert werden.

Kostenersparnis

Durch die Wiederverwendung und Aufbereitung der Abwässer werden Versorgungs- und Entsorgungskosten um bis zu 90% reduziert.

Rückgewonnene wertvolle Produktionsstoffe können weiterverkauft werden und reduzieren damit Grundkosten im laufenden Prozeß.

Unabhängigkeit

Durch die Wiederaufbereitung der verwendeten Abwässer erhöht sich die Unabhängigkeit von externen Einflüssen.
Engpässe bei Ausbau und Erweiterung der Kundenprozesse werden vermieden.

Umwelt & Gesundheit

Der Einsatz der patentierten Recycling-Anlagen leistet einen wichtigen Beitrag zum Schutz der Umwelt und der Gesundheit.

Gesundheitsschädliche Nano-Partikel werden aus dem Abwasser herausgefiltert und sorgen für eine deutlich bessere Wasserqualität.

Durch den reduzierten Verbrauch wertvoller und nicht erneuerbarer Rohstoffe werden wichtige Ressourcen eingespart.

Industrielle Anwendungen

Überall dort, wo wertvolle und seltene Rohstoffe in Verbindung mit Wasser verarbeitet werden, sind Recycling-Anlagen unabdingbar. Denn nicht nur Wasser kann aufbereitet und wieder verwendet werden, sondern auch teure Rohstoffe, wie beispielsweise seltene Erden und Edelmetalle.

Neben der Halbleiterindustrie bieten unsere Recycling-Anlagen ideale Lösungen für eine Vielzahl anspruchsvoller Anwendungen, wie zum Beispiel in der Chemie und der Papierindustrie. Aber auch in landwirtschaftlichen Anwendungen kommen unsere Systeme zum Einsatz.

Gerne beraten wir Sie vor Ort. Mit Hilfe unseres transportablen Ultra-Kompakt-Moduls können Sie sich schnell, einfach und unkompliziert ein Bild über die Vorteile des Recycling-Prozesses machen. Wir bereiten Ihre Materialien auf, die Sie dann im Anschluss an unser Gespräch Ihren individuellen Tests sowie Evaluierungen unterziehen können. Wir werden Sie dabei selbstverständlich fachmännisch bei der Berechnung der Rentabilität sowie im Prozess und der Analytik unterstützen.

Kontaktieren Sie uns!

Wir finden für Ihre individuelle Anwendung die ideale Lösung.