Unsere Lösungen

Für unsere Kunden aus dem Halbleitermarkt bieten wir, neben den Produkten der Fäth Group, ein abgerundetes Produktportfolio an:

Recycling-Anlagen

Slurry-Analytik

Dienstleistungen

Recycling-Anlagen

Recycling-Anwendungen in der Halbleiterindustrie gewinnen zunehmend an Bedeutung. Denn neben dem Schutz der Umwelt und Gesundheit hilft das Recycling, die Produktionsprozesse zu optimieren und Kosten zu senken.

Das Funktionsprinzip

In der Anlage durchläuft das Gemisch aus Reinstwasser, Slurry oder anderen chemischen Materialien mehrere Filtrationsstufen, so werden die ursprünglichen Rohstoffe separiert und können wiederverwendet werden. Aufgrund des patentierten Rückspülprozesses der Ultrafiltrationsmodule wurde die Lebensdauer dieser kostenintensiven Filterelemente drastisch erhöht. Statt nach wenigen Tagen müssen die Filter erst nach über einem Jahr ausgetauscht werden, so wird die Kosteneffizienz der Anlage noch einmal deutlich erhöht.

Das bedeutet:
Es ist erstmals möglich, das Abwasser effizient und wirtschaftlich in seine Hauptbestandteile aufzuspalten. Bis zu 85 % des Slurrys und 90 % des Reinstwassers können wieder dem Prozess zugeführt werden. Zurückgewonnene wertvolle seltene Erden können wiederverwendet werden.

Die Vorteile auf einen Blick:

Prozesssicherheit

Durch die Wiederverwendung rückgewonnener Rohstoffe werden die hohen Qualitätsstandards im Prozess in jedem Fall beibehalten und häufig sogar deutlich verbessert.

Kostenersparnis

Durch die Wiederverwendung chemischer Rohstoffe und Reinstwasser ergeben sich deutliche Einsparungen im Produktionsprozess.

  • Erheblich niedrigere Slurry Beschaffungskosten
  • Wegfall hoher Lager- und Transportkosten
  • Einsparungen bei der Reinstwasseraufbereitung
  • Reduzierung der Abwasserkosten

Unabhängigkeit

Hochwertige chemische Rohstoffe sind teuer und selten. Aufgrund einer Recyclingrate von bis zu 85 % bedeutet das: Nur 15 % des Materials muss neu hinzugefügt werden. Dadurch reduziert sich der Bedarf erheblich!

Umwelt & Gesundheit

Der Einsatz der patentierten Recycling-Anlagen leistet einen wichtigen Beitrag zum Schutz der Umwelt und der Gesundheit.

  • Gesundheitsschädliche Nano-Partikel werden aus dem Abwasser herausgefiltert und sorgen für eine deutlich bessere Wasserqualität.
  • Durch den reduzierten Verbrauch wertvoller und nicht erneuerbarer Rohstoffe werden wichtige Ressourcen eingespart.

Wiederverwertbare Materialien:

  • Reinstwasser
  • Oxyd-Slurrys
  • Tungsten-Slurrys (Pilotierungsphase)
  • Ceria-Slurrys
  • Kupfer-Slurrys
  • Lithiumtantalat
  • Chemische Feststoffe

Material zum Downloaden:

Info Broschüre Jetzt downloaden
Datenblätter Jetzt downloaden

Analytik für Prozess, Technik und Umwelt

Für die Halbleiterindustrie bieten wir umfassende Analysemöglichkeiten:

  • Online-Partikelmessgeräte
  • Prozess- und labortaugliche Feststoffkonzentrationsmessungen
  • Stabilitätsmessungen
  • Haltbarkeitsanalysen
  • Metallanalysen
  • Analytik von Leitwert, ph, TOC, Dichte

Diese umfassenden Analysemöglichkeiten zur Bestimmung und Überwachung der Prozessparameter- und grenzen ermöglichen es uns, unsere Recycling-Lösungen perfekt auf die betrieblichen Anforderungen des Kunden abzustimmen. Gerne unterstützen wir Sie bereits in der Planungsphase bis hin zur Optimierung bestehender Anlagen.

Dienstleistungen

Fernwartungsservices

Unsere Ingenieure und Servicemitarbeiter bieten mit Hilfe modernster Fernwartungstechnik sämtliche Serviceleistungen zu den von uns gelieferten und installierten Anlagen. Durch die Registrierung der Kundenanlage in unserem firmeneigenen System können wir jederzeit und von überall die entsprechende Anlage und deren Arbeitsprozesse nachverfolgen und kontrollieren. So können wir bei Fragen und Problemen schnell Abhilfe schaffen und auf den Kunden zugeschnittene Lösungen anbieten.

Instandhaltungsservices

Die HighQ-Factory GmbH führt auf Anfrage regelmäßige Instandhaltungsarbeiten Ihrer Recycling-Anlage durch. Durch unsere langjährige Erfahrung werden diese Services effektiv und zuverlässig ausgeführt und garantieren den problemlosen Betrieb der Anlagen.